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高纯气的履行标准是gb/t10624—1995,要求到达99.999%以上。气是采用空气分离提,即将液化的空气进行精馏,得到粗.抽出粗,经进一步提纯可得到高纯,高纯在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯也可作为色谱载气.被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
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